Abschlußbericht der CeramTec AG im Verbundvorhaben "Neue Keramik- und Dünnschichtwerkstoffe", Teilvorhaben: "Entwicklung neuer feinstrukturierter Substrateplatten aus Aluminiumoxidkeramik und Aluminiumnitridkeramik und deren Anpassung an den Verarbeitungsablauf in einer neuartigen Verfahrenslinie für miniaturisierte Dünnschichtsfunktionselemente" ; Zeitraum: 01.07.1996 bis 30.06.1999
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| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Marktredwitz
1999
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