Abschlußbericht der CeramTec AG im Verbundvorhaben "Neue Keramik- und Dünnschichtwerkstoffe", Teilvorhaben: "Entwicklung neuer feinstrukturierter Substrateplatten aus Aluminiumoxidkeramik und Aluminiumnitridkeramik und deren Anpassung an den Verarbeitungsablauf in einer neuartigen Verfahrenslinie für miniaturisierte Dünnschichtsfunktionselemente" ; Zeitraum: 01.07.1996 bis 30.06.1999

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	CeramTec AG Innovative Ceramic Engineering Geschäftsbereich Elektronik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Ruska, J. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Marktredwitz 1999
Schlagworte:	Forschungsbericht
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