Perspectives, science and technologies for novel silicon on insulator devices [proceedings of the NATO Advanced Research Workshop on Perspectives, Science, and Technologies for Novel Silicon on Insulator Devices, Kyiv, Ukraine, 12 - 15 October 1998]

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Advanced Research Workshop on Perspectives, Science, and Technologies for Novel Silicon on Insulator Devices (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Hemment, Peter L. F. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Dordrecht u.a. Kluwer 2000
Schriftenreihe:	NATO science series High technology 73
Schlagworte:	Silicon-on-insulator technology > Konferenzschrift > Silicone > Isolatorbauteil
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