Silicon nitride and silicon dioxide thin insulating film proceedings of the fifth international symposium

Bibliographische Detailangaben

Körperschaften:	Electrochemical Society Dielectric Science and Technology Division (BerichterstatterIn), Symposium on Silicon Nitride and Silicon Dioxide Thin Insulating Films (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Sundaram, K. B. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Pennington, NJ Electrochemical Society 1999
Schriftenreihe:	Proceedings volume / Electrochemical Society 99-6
Schlagworte:	Konferenzschrift
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