Mikro-System-Technik Chemnitz '99 Mikromechanik & Mikroelektronik ; 4. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 11./12. Oktober 1999

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaften:	Technische Universität Chemnitz (BerichterstatterIn), Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Dötzel, Wolfram (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Chemnitz Techn. Univ. 1999
Schlagworte:	Konferenzschrift > Mikrosystemtechnik > Mikromechanik
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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