The certification of 100 mm diameter silicon resistivity SRMs 2541 through 2547 using dual-configuration four-point probe measurements

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Ehrstein, James R. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Croarkin, M. Carroll (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Washington U.S. Gov. Print. Off. 1999
Ausgabe:1999 ed
Schriftenreihe:Standard reference materials 131
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Beschreibung
Beschreibung:Supersedes NIST special publication 260-131, August 1997
Beschreibung:VI, 106 S