Planar test structures for characterizing impurities in silicon

Bibliographische Detailangaben

Körperschaften:	USA Department of Commerce (BerichterstatterIn), USA National Bureau of Standards (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Buehler, Martin G. (BerichterstatterIn), David, J. M. (BerichterstatterIn), Mattis, R. L. (BerichterstatterIn), Philips, W. E. (BerichterstatterIn), Thurber, W. R. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Washington, DC US Gov. Print. Off. 1976
Schriftenreihe:	Semiconductor measurement technology 21
Schlagworte:
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