Bestimmung der kristallographischen Fehlorientierung von {100}-Siliziumwafern mittels anisotroper Ätzung Teilvorhaben Präzisions-V-Nuten-Array im Verbundvorhaben Grundlagen für eine optische Hybridtechnik (OPTOHYBRID) Teil 2 Abschlußbericht : Berichtszeitraum: 8/95 - 3/97

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	Zentrum Mikroelektronik Dresden (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Uhlig, Thomas (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Dresden ZMD 1998
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