ARPA/NBS workshop V moisture measurement technology for hermetic semiconductor devices ; proceedings of the ARPA/NBS Workshop V, held at the National Bureau of Standards, Gaithersburg, MD, March 22-23, 1978

Bibliographische Detailangaben

Körperschaften:	United States National Bureau of Standards (BerichterstatterIn), United States Advanced Research Projects Agency (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Schafft, Harry A. (BerichterstatterIn), Ruthberg, Stanley (BerichterstatterIn), Cohen, Elaine C. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Washington, DC U.S. Dept. of Commerce, National Bureau of Standards 1981
Schriftenreihe:	Semiconductor measurement technology 69
Schlagworte:	Konferenzschrift
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