ARPA/NBS workshop V moisture measurement technology for hermetic semiconductor devices ; proceedings of the ARPA/NBS Workshop V, held at the National Bureau of Standards, Gaithersburg, MD, March 22-23, 1978

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaften: United States National Bureau of Standards (BerichterstatterIn), United States Advanced Research Projects Agency (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Schafft, Harry A. (BerichterstatterIn), Ruthberg, Stanley (BerichterstatterIn), Cohen, Elaine C. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Washington, DC U.S. Dept. of Commerce, National Bureau of Standards 1981
Schriftenreihe:Semiconductor measurement technology 69
Schlagworte:
Konferenzschrift
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Beschreibung
Beschreibung:Electron Devices Division, Center for Electronics and Electrical Engineering, National Engineering Laboratory, National Bureau of Standards
This activity was supported by Defense Advanced Research Projects Agency and National Bureau of Standards
Issued May 1981
S/N 003-003-02326-4
Includes bibliographical references
Beschreibung:v, 196 p
ill
26 cm