Neue Produktionskonzepte für die Halbleiterfertigung SMART FABRICATION "Qualitätsmanagement" Kurzbezeichnung: Smart Fab "QM" ; Abschlußbericht ; Verbundprojekt ; Berichtszeitraum: 01.01.1996 - 31.12.1998

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Scholz, D. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Dresden Zentrum Mikroelektronik Dresden 1999
Schlagworte:	Forschungsbericht > Halbleitertechnologie > Flexible Fertigung
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Beschreibung
Beschreibung:	Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Dokumentversion können nicht ausgeschlossen werden Förderkennzeichen BMBF 01M2965F. - Verbund-Nr. 01003868 Auch als elektronisches Dokument vorh
Beschreibung:	51, [48] Bl Ill., graph. Darst