Design, Herstellung und Charakterisierung eines mikromechanischen Gyrometers auf der Basis der LIGA-Technik

Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss., 1999 von Knut Schumacher

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Schumacher, Knut (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Wallrabe, U. (VerfasserIn), Mohr, Jürgen (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Karlsruhe Forschungszentrum 1999
Schriftenreihe:	Wissenschaftliche Berichte / Forschungszentrum Karlsruhe, Technik und Umwelt FZKA 6361
Schlagworte:	Forschungsbericht > Hochschulschrift > Gyroskop > Mikrosensor
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss., 1999 von Knut Schumacher
Beschreibung:	Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Dokumentenversion können nicht ausgeschlossen werden Auch als elektronische Ressource vorh
Beschreibung:	III, 110 S Ill., graph. Darst