Ion implantation technology proceedings of the 6. Internat. Conference on Ion Implantation Technology, Berkeley, CA, July 28 - Aug. 1, 1986

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: International Conference on Ion Implantation Technology (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Current, Michael I. (HerausgeberIn)
Format: UnknownFormat
Veröffentlicht: Amsterdam North-Holland 1987
Schriftenreihe:Nuclear instruments & methods in physics research Beam interactions with materials and atoms 21,2/4
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Beschreibung
Beschreibung:XIV S., S. 83 - 653
Ill., graph. Darst
27 cm