Ion implantation technology proceedings of the 6. Internat. Conference on Ion Implantation Technology, Berkeley, CA, July 28 - Aug. 1, 1986
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Format: | UnknownFormat |
Veröffentlicht: |
Amsterdam
North-Holland
1987
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Schriftenreihe: | Nuclear instruments & methods in physics research Beam interactions with materials and atoms
21,2/4 |
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Beschreibung: | XIV S., S. 83 - 653 Ill., graph. Darst 27 cm |
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