Microsystem technology and microrobotics

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Fatikow, Sergej (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Rembold, Ulrich (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Berlin, Heidelberg u.a. Springer 1997
Schlagworte:	Electromechanical devices > Design and construction > Microrobots > Microfabrication > Robotics > Mikrosystemtechnik > Robotik > MEMS > Mikrofertigung
Online Zugang:	Inhaltstext Publisher description
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