Thin-film deposition principles and practice

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Smith, Donald L. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	New York, NY u.a. McGraw-Hill 1995
Ausgabe:	Internat. ed.
Schlagworte:	Thin films > Vapor-plating > Thin film devices > Dünne Schicht > CVD-Verfahren
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis Autorenbiografie
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Beschreibung
Beschreibung:	XXIII, 616 S. graph. Darst., Ill.
ISBN:	0071139133 0-07-113913-3 0070585024 0-07-058502-4