Mikromechanischer kapazitiver Differenzdrucksensor mit hoher Überlastfestigkeit in Silicium-Glas-Technologie

Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 1995

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Hein, Stefan (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Berlin Köster 1996
Ausgabe:	1. Aufl.
Schriftenreihe:	Wissenschaftliche Schriftenreihe Elektrotechnik 14
Schlagworte:	Hochschulschrift > Silicium > Halbleitersubstrat > Halbleiterdrucksensor > Kapazitiver Sensor
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