Laserformierte, vertikale Kontakte für mikroelektronische Schaltungen mit redundanten Elementen

Zugl.: Hannover, Univ., Diss

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Hartmann, Hans-Dieter (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Düsseldorf VDI-Verl. 1993
Ausgabe:Als Ms. gedr.
Schriftenreihe:Fortschrittberichte VDI Reihe 9, Elektronik, Mikro- und Nanotechnik 171
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Beschreibung
Zusammenfassung:Zugl.: Hannover, Univ., Diss
Beschreibung:Literaturverz. S. 172 - 182
Beschreibung:XIV, 204 S.
Ill., graph. Darst.
ISBN:3181471097
3-18-147109-7