Laserformierte, vertikale Kontakte für mikroelektronische Schaltungen mit redundanten Elementen
Zugl.: Hannover, Univ., Diss
Gespeichert in:
1. Verfasser: | |
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | ger |
Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
1993
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Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
Schriftenreihe: | Fortschrittberichte VDI Reihe 9, Elektronik, Mikro- und Nanotechnik
171 |
Schlagworte: | |
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Zusammenfassung: | Zugl.: Hannover, Univ., Diss |
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Beschreibung: | Literaturverz. S. 172 - 182 |
Beschreibung: | XIV, 204 S. Ill., graph. Darst. |
ISBN: | 3181471097 3-18-147109-7 |