Environmental, safety, and health issues in IC production : symposium held December 4 - 5, 1996, Boston, Massachusetts, U.S.A.

Environmental, safety, and health issues in IC production symposium held December 4 - 5, 1996, Boston, Massachusetts, U.S.A.

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Symposium on Environmental, Safety, and Health Issues in IC Production (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Reif, Rafael (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Pittsburgh, Pa. Materials Research Society 1997
Schriftenreihe:Materials Research Society symposium proceedings 447
Schlagworte:
Semiconductor industry > Safety measures > Integrated circuits industry > Manufacturing processes > Green technology > Congresses > Konferenzschrift
Online Zugang:Verlagsangaben
Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:Includes bibliographical references (p. ) and index
Beschreibung:IX, 154 S
ISBN:1558993517
1-55899-351-7