Papers presented at the European Materials Research Society 1998 Meeting, Symposium N: Materials and Processes for Submicron Technologies [June 16 - 19, 1998, Strasbourg, France]

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	European Materials Research Society (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Martinez-Duart, J. M. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Oxford Pergamon 1999
Schriftenreihe:	Solid-state electronics 43.1999,6
Schlagworte:	Konferenzschrift
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