Bedampfungstechnik Verfahren, Einrichtungen, Anwendungen

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Schiller, Siegfried (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Heisig, Ullrich (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Berlin Verl. Technik 1976
Ausgabe:2., unveränd. Aufl., unveränd. Nachdr.
Schriftenreihe:Informationselektronik
Schlagworte:
Halbleitertechnologie > Dünnschichttechnik > Aufdampfen
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Beschreibung
Beschreibung:Literaturverz. S. 147 - 152
Beschreibung:155 S.
Ill., graph. Darst.