Einzelquellen CVD-Verfahren für die Abscheidung von Perovskit-Oxidschichten auf Flächen und komplizierten Formen : Forschungsbericht/Abschlußbericht, August 1996 - Juli 1998

Einzelquellen CVD-Verfahren für die Abscheidung von Perovskit-Oxidschichten auf Flächen und komplizierten Formen Forschungsbericht/Abschlußbericht, August 1996 - Juli 1998

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Institut für Oberflächentechnik und Plasmatechnische Werkstoffentwicklung (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Wahl, G. (BerichterstatterIn), Stadel, O. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Braunschweig u.a. 1998
Schlagworte:
Forschungsbericht > Cuprate > MOCVD-Verfahren
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