Einzelquellen CVD-Verfahren für die Abscheidung von Perovskit-Oxidschichten auf Flächen und komplizierten Formen Forschungsbericht/Abschlußbericht, August 1996 - Juli 1998

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	Institut für Oberflächentechnik und Plasmatechnische Werkstoffentwicklung (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Wahl, G. (BerichterstatterIn), Stadel, O. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Braunschweig u.a. 1998
Schlagworte:	Forschungsbericht > Cuprate > MOCVD-Verfahren
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