Verbundvorhaben: Mikrosystem-Modultechniken für erhöhte Verlustleistungen (MST-feV), Teilprojekt: Entwicklung von Prozessen für Mehrlagen- und Kühltechniken Abschlußbericht ; Berichtszeitraum: 1.1.95 - 31.12.97
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | ger |
Veröffentlicht: |
München
1998
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Beschreibung: | Förderkennzeichen BMBF 16 SV 162. - Verbund-Nr. 52400069. - Zsfassung in engl. Sprache u.d.T.: Model techniques for microsystems with increased heat dissipation, Subproject: Development of processes for multilayer and cooling technology |
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Beschreibung: | 50 S Ill., graph. Darst |