3D UV Tiefenlithographie Verbundprojekt ; Teilvorhaben: Darstellung und Charakterisierung eines Positiv-Photoresists für die UV-Tiefenlithographie ; Abschlußbericht ; 01.07.1995 - 31.12.1997 ; Förderprogramm "Mikrosystemtechnik 1994 - 1999"
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| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Berlin
1998
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | Förderkennzeichen BMBF 16SV209/9. - Verbund-Nr. 01000512 |
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| Beschreibung: | 32 Bl Ill., graph. Darst |