Herstellung und Charakterisierung metallischer Mikrostrukturen : Teilvorhaben der Robert Bosch GmbH ; Projektlaufzeit: 01.07.1995-31.12.1997 ; Abschlußbericht ; Verbundvorhaben "3D-Strukturerzeugung mit UV-Lithographie" im Rahmen des BMBF-Förderprogramms Mikrosystemtechnik 1994-1999

Herstellung und Charakterisierung metallischer Mikrostrukturen Teilvorhaben der Robert Bosch GmbH ; Projektlaufzeit: 01.07.1995-31.12.1997 ; Abschlußbericht ; Verbundvorhaben "3D-Strukturerzeugung mit UV-Lithographie" im Rahmen des BMBF-Förderprogramms Mikrosystemtechnik 1994-1999

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Küttner, Klaus (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Stuttgart Robert Bosch GmbH 1998
Schlagworte:
Forschungsbericht
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 16SV211/0. - Verbund-Nr. 01000512
Beschreibung:12, [8] Bl
Ill., graph. Darst