3D-Strukturerzeugung mit UV-Lithographie Teilvorhaben: "Automatisierter UV-Lithographieprozeß für extrem dicke Photoresistschichten auf runden Substraten und Abformung dieser Strukturen" ; Abschlußbericht zum Verbundforschungsvorhaben ; Berichtszeitraum 01.07.1995 - 31.12.1997
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| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Berlin
1998
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