3D-Strukturerzeugung mit UV-Lithographie Teilvorhaben: "Automatisierter UV-Lithographieprozeß für extrem dicke Photoresistschichten auf runden Substraten und Abformung dieser Strukturen" ; Abschlußbericht zum Verbundforschungsvorhaben ; Berichtszeitraum 01.07.1995 - 31.12.1997

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Löchel, B. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Berlin 1998
Schlagworte:	Forschungsbericht
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Beschreibung
Beschreibung:	Förderkennzeichen BMBF 16SV206/6. - Verbund-Nr. 01000512. - Zsfassung in engl. Sprache u.d.T.: 3D micro fabrication by means of UV lithography, subproject: an automatical UV lithography process for extreamly thick photoresist layer on top of circular shaped substrates and moulding of the generated structures
Beschreibung:	Getr. Zählung Ill., graph. Darst