Untersuchungen zur Abscheidung von Hartstoffschichten in einer großvolumigen Beschichtungskammer mittels PACVD-Technik Abschlußbericht für das Verbundprojekt der Volkswagen-Stiftung für den Bearbeitungszeitraum 01.07.1995 bis 31.12.1998

Bibliographische Detailangaben

Körperschaften:	Universität Stuttgart Institut für Industrielle Fertigung und Fabrikbetrieb (BerichterstatterIn), VolkswagenStiftung (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Eckel, Martin (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Stuttgart u.a.: IFF u.a. 1999
Schlagworte:	Forschungsbericht > PECVD-Verfahren > Verfahrenstechnik
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