Entwurf optischer Mikrosysteme Mikrooptik und integrierte Optik, Thermomechanik und CAD, Aufbautechnik und Systemsimulation, Fabrikation und Test ; wissenschaftliches Vorprojekt: Anwenderfreundliche Systemintegrationstechniken für optische Mikrosysteme - ASOM ; im Rahmen des BMBF-Förderprogrammes Mikrosystemtechnik ; [gemeinsamer Schlußbericht zum Verbund] ; [Abschlußdatum des Vorhabens: 30.6.1998]

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	Technische Universität Berlin (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Wächter, Christoph (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Berlin 1998
Schlagworte:	Forschungsbericht > Mikrooptik
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