Micromachining silicon for MEMS

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Daniel, Jürgen H. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Moore, D. F. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Cambridge MTP 1999
Schlagworte:	Microelectromechanical systems > Miniature electronic equipment > Mikrosystemtechnik > Mikrobearbeitung > Silicium
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Keine Ergebnisse!