Micromachining silicon for MEMS

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Daniel, Jürgen H. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Moore, D. F. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Cambridge MTP 1999
Schlagworte:	Microelectromechanical systems > Miniature electronic equipment > Mikrosystemtechnik > Mikrobearbeitung > Silicium
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Beschreibung
Beschreibung:	VIII, 145 S Ill 30 cm
ISBN:	095351420x 0-9535142-0-x