Proceedings of the Twelfth International Symposium on Plasma Processing [held as part of the 193rd Meeting of the Electrochemical Society in San Diego, CA, May 3 - 8, 1998]

Bibliographische Detailangaben

Körperschaften:	International Symposium on Plasma Processing (VerfasserIn), Electrochemical Society Dielectric Science and Technology Division (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Mathad, G. S. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Pennington, NJ Electrochemical Society 1998
Schriftenreihe:	Proceedings volume / Electrochemical Society 98-4
Schlagworte:	Konferenzschrift > Plasmastrahlbearbeitung
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