Proceedings of the Fifth International Symposium on High Purity Silicon V : [held in Boston, Massachusetts at the 194th Meeting of the Electrochemical Society, November 2 - 6, 1998]

Proceedings of the Fifth International Symposium on High Purity Silicon V [held in Boston, Massachusetts at the 194th Meeting of the Electrochemical Society, November 2 - 6, 1998]

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaften: International Symposium on High Purity Silicon (VerfasserIn), Electrochemical Society Electronics Division (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Claeys, C. L. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Pennington, NJ Electrochemical Society 1998
Schriftenreihe:Proceedings volume / Electrochemical Society 98-13
Schlagworte:
Silicon crystals > Congresses > Crystal growth > Semiconductor wafers > Konferenzschrift
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Beschreibung
Beschreibung:Includes bibliographical references and indexes
Beschreibung:XI, 477 S
ill
23 cm
ISBN:1566772079
1-56677-207-9