Reactive crossed-beam laser ablation application to the production of TiN thin films

Zugl.: Zürich, Univ., Diss., 1998

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Timm, Roman Christian (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Zürich Zentralstelle der Studentenschaft 1998
Schlagworte:	Hochschulschrift
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