Proceedings of Symposium Q on Thin Films, IUMRS-ICA-97 Makuhari, Chiba, Japan, 16 - 18 September 1997

Bibliographische Detailangaben

Körperschaften:	Symposium on Thin Films (VerfasserIn), International Union of the Materials Research Societies (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Takai, O. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Amsterdam u.a. Elsevier 1998
Schriftenreihe:	Thin solid films 334,1/2
Schlagworte:	Konferenzschrift > Dünnschichttechnik
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