Abschlußbericht KINSENS, Berichtsteil TU Chemnitz Verbundprojekt: Mikromechanik mit integrierter Elektronik für kinetische Sensoren ; Teilvorhaben: B-Messer- und Mikrokreiselpräparation und Verbindungstechnologie zum ASIC ; Berichtszeitraum: 1.1.1997 - 31.12.1997

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Technische Universität Chemnitz-Zwickau Zentrum für Mikrotechnologien (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Geßner, T. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Chemnitz ca.1998
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