Proceedings HLF semiconductor equipment and materials, contamination control and defect reduction ; Munich, Germany, November 11 - 12, 1997

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Productronica (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Ryssel, Heiner (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Stuttgart Fraunhofer-IRB-Verl. 1998
Schlagworte:	Konferenzschrift > Halbleitertechnologie > Fertigungsfehler > Prozessoptimierung > Kontamination
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Beschreibung
Beschreibung:	Literaturangaben
Beschreibung:	223 S zahlr. Ill. und graph. Darst 21 cm