Advanced interconnection technology (ADIT) Schlußbericht zum Vorhaben ; [Verbundvorhaben ; Bewilligungszeitraum und Berichtszeitraum: 01.07.1993 bis 30.09.1997]

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Technische Universität Chemnitz-Zwickau Zentrum für Mikrotechnologien (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Geßner, T. (BerichterstatterIn), Baumann, Jens (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Chemnitz ZfM 1998
Schlagworte:	Forschungsbericht
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Beschreibung
Beschreibung:	Förderkennzeichen BMFT/BMBF 01 M 2933 A3
Beschreibung:	131, [6] Bl Ill., graph. Darst