Microprocesses and nanotechnology

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Micro-Nano Conference (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Aoyagi, Yoshinobu (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Tokyo Publication Office, Japanese Journal of Applied Physics 1997
Schriftenreihe:	Japanese Journal of Applied Physics Pt. 1 Special issue 36,12B
Schlagworte:	Konferenzschrift > Nanotechnologie > Mikromechanik
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Beschreibung
Beschreibung:	Literaturangaben
Beschreibung:	S. 7473 - 7808 Ill., graph. Darst