Rapid thermal and integrated processing VII symposium held April 13 - 15, 1998, San Francisco, California, U.S.A.
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
Pittsburgh, Pa.
Materials Research Soc.
1998
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Schriftenreihe: | Rapid thermal and integrated processing
7 |
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Beschreibung: | Includes bibliographical references and index |
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Beschreibung: | XIII, 403 S. Ill., graph. Darst. |
ISBN: | 1558994319 1-55899-431-9 |