Erzeugung von halbleitenden und isolierenden Nanometerstrukturen durch spitzeninduzierte Dissoziation von Precursorgasen mit dem Rastertunnelmikroskop [Schlußbericht] ; [Abschlußdatum des Vorhabens: 30.09.1997]

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Rauscher, Hubert (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Behm, Rolf Jürgen (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Ulm Abt. Oberflächenchemie u. Katalyse, Univ. 1998
Schriftenreihe:	Forschungsbericht / Bundesministerium für Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie
Schlagworte:	Forschungsbericht > Nanostrukturiertes Material > Rastertunnelmikroskopie > CVD-Verfahren
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