Anwendungsgerechte Systemintegration und Zuverlässigkeit für die Intelligente Mikromechanische Sensorik (AN-SYS) Abschlußbericht zum Verbundvorhaben ; Laufzeit: 1.7.1993 - 30.4.1997

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Obermeier, Ernst (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Lossy, Richard (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Berlin Techn. Univ., Forschungsschwerpunkt Technologien der Mikroperipherik ca.1997
Schlagworte:	Forschungsbericht > Mikrosensor > Piezoelektrischer Drucksensor > Kalibrieren
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