Anwendungsgerechte Systemintegration und Zuverlässigkeit für die Intelligente Mikromechanische Sensorik (AN-SYS) Abschlußbericht zum Verbundvorhaben ; Laufzeit: 1.7.1993 - 30.4.1997

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Obermeier, Ernst (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Lossy, Richard (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Berlin Techn. Univ., Forschungsschwerpunkt Technologien der Mikroperipherik ca.1997
Schlagworte:	Forschungsbericht > Mikrosensor > Piezoelektrischer Drucksensor > Kalibrieren
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Beschreibung
Beschreibung:	Förderkennzeichen BMBF 13 MV 0262. - Zsfassung in engl. Sprache u.d.T.: Application oriented integration and reliability for smart micromechanical sensors
Beschreibung:	IV, 107 Bl graph. Darst