Verbundvorhaben Mikromechanik für kinetische Sensoren (1991 - 1994) ; Abschlußbericht

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Litton Technische Werke (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Freiburg ca. 1995
Schriftenreihe:Förderungsschwerpunkt Mikrosystemtechnik des BMBF
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