Verbundvorhaben Mikromechanik für kinetische Sensoren (1991 - 1994) ; Abschlußbericht
Gespeichert in:
| Körperschaft: | |
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| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Freiburg
ca. 1995
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| Schriftenreihe: | Förderungsschwerpunkt Mikrosystemtechnik des BMBF
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| Schlagworte: | |
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | Förderkennzeichen BMBF 13MV0149; 13MV01483; 13MV0150; 13MV0151/5. - Verbund-Nr. 52400063 |
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| Beschreibung: | 178 Bl Ill., graph. Darst |