Laser-assisted microtechnology

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Metev, Simeon M. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Vejko, Vadim P. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Berlin, Heidelberg, New York Springer 1998
Ausgabe:	2., updated ed.
Schriftenreihe:	Springer series in materials science 19
Schlagworte:	Electronic industries > Technological innovations > Lasers > Industrial applications > Manufacturing processes > Micromachining > Thin film devices > Design and construction > Mikrosystemtechnik > Laserbearbeitung > Dünnschichttechnik > Laser
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