Laser-assisted microtechnology

Laser-assisted microtechnology

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Metev, Simeon M. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Vejko, Vadim P. (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Berlin, Heidelberg, New York Springer 1998
Ausgabe:2., updated ed.
Schriftenreihe:Springer series in materials science 19
Schlagworte:
Electronic industries > Technological innovations > Lasers > Industrial applications > Manufacturing processes > Micromachining > Thin film devices > Design and construction > Mikrosystemtechnik > Laserbearbeitung > Dünnschichttechnik > Laser
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Beschreibung
Beschreibung:Includes bibliographical references and index
Beschreibung:XII, 270 S
Ill., graph. Darst
ISBN:354063973X
3-540-63973-X