Erzeugung lokaler Eigenschaftsprofile bei PVD-Sputterschichten für tribologische Anwendungen

Zugl.: Darmstadt, Techn. Univ., Diss., 1998

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Berg, Günter (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Berg, Günter Albert (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Aachen Shaker 1998
Ausgabe:	Als Ms. gedr.
Schriftenreihe:	Berichte aus der Werkstofftechnik
Schlagworte:	Hochschulschrift > Technische Oberfläche > Verschleißschutz > Magnetronsputtern > Tribologie > Werkstoffprüfung
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Zugl.: Darmstadt, Techn. Univ., Diss., 1998
Beschreibung:	VI, 155 S Ill., graph. Darst 21 cm
ISBN:	3826538781 3-8265-3878-1