Spectroscopic ellipsometry proceedings of the 2nd International Conference on Spectroscopic Ellipsometry, Charleston, South Carolina, USA, May 12 - 15, 1997

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: International Conference on Spectroscopic Ellipsometry (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Collins, Robert W. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Amsterdam u.a. Elsevier 1998
Schriftenreihe:Thin solid films 313/314.1998
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Beschreibung
Beschreibung:Literaturangaben
Beschreibung:XIII, 850 S
Ill., graph. Darst